研究院院长
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国家大千人专家,台湾大学博士,清华大学纳米工程与微系统研究所,郑州大学特聘教授,博士生导师。


以半导体芯片和传感器制造为核心,提出集设计、生产、测试、喷镀等整套的解决方案,可用于功率电子器件、传感器、光电子器件、微波电路及其他新型电子元器件的单、双面对准及曝光工艺,对于半导体设备设计、教学、研发起到有力支持。未来可为各类MEMS平台提供有力支持。


卫荣汉教授的纳米光机电与生医工程实验室,可在微纳机电系统(MEMS/NEMS)、智能传感器开发、微流控检测系统、生物医学传感技术、微纳光电磁热等器件以及精密仪器制造技术等交叉学科领域上开展世界一流研究工作。